橢圓偏光儀作為精密光學(xué)測(cè)量設(shè)備，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、光學(xué)薄膜、材料科學(xué)以及納米技術(shù)等領(lǐng)域。其主要功能是通過(guò)測(cè)量反射光或透射光的偏振狀態(tài)，來(lái)推算樣品的厚度、折射率以及光學(xué)常數(shù)等參數(shù)。由于橢圓偏光儀屬于高精度儀器，其測(cè)量結(jié)果易受到外部環(huán)境因素的影響，因此環(huán)境適應(yīng)性成為儀器性能和應(yīng)用可靠性的重要指標(biāo)。環(huán)境適應(yīng)性，是指橢圓偏光儀在不同實(shí)驗(yàn)或工業(yè)環(huán)境中，仍能保持穩(wěn)定、準(zhǔn)確的測(cè)量能力的能力。對(duì)于光學(xué)測(cè)量設(shè)備而言，環(huán)境適應(yīng)性不僅涉及儀器在溫度、濕度、振動(dòng)等條件下的穩(wěn)定性，還包括其對(duì)空氣污...

反射膜厚儀是一種利用光譜反射原理測(cè)量薄膜厚度和折射率的精密儀器，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、光學(xué)鍍膜、平板顯示、太陽(yáng)能電池等領(lǐng)域。特點(diǎn)：非破壞性測(cè)量無(wú)需接觸或損傷樣品，可對(duì)成品、半成品進(jìn)行多次復(fù)測(cè)，避免樣品損耗。高精度與寬量程精度：常規(guī)型號(hào)±2nm~±5nm；量程：覆蓋1nm至數(shù)百微米，部分型號(hào)支持多層膜測(cè)量。快速高效單次測(cè)量時(shí)間短，簡(jiǎn)易款約0.1~1秒，分光法約3~5秒，可滿足生產(chǎn)線“在線檢測(cè)”需求。操作便捷內(nèi)置常見(jiàn)材料的折射率數(shù)據(jù)庫(kù)，無(wú)需手動(dòng)輸入?yún)?shù)...

穆勒矩陣光譜橢偏儀基于更普適的穆勒-斯托克斯形式主義。它通過(guò)系統(tǒng)性地改變?nèi)肷涔獾钠駪B(tài)（由起偏器和可調(diào)偏振態(tài)發(fā)生器實(shí)現(xiàn)），并精確測(cè)量所有四個(gè)斯托克斯參量構(gòu)成的反射或透射光偏振態(tài)（由檢偏器和偏振態(tài)分析器實(shí)現(xiàn)），從而構(gòu)建出一個(gè)4x4的穆勒矩陣M。該矩陣完整描述了樣品對(duì)入射偏振光的所有改變（強(qiáng)度、偏振度、偏振方向、橢圓率等），包含了遠(yuǎn)超Ψ和Δ的豐富信息，特別適用于分析具有各向異性、粗糙度、圖案化結(jié)構(gòu)或存在去偏振效應(yīng)的復(fù)雜樣品。一套典型的穆勒矩陣光譜橢偏儀主要由以下幾個(gè)關(guān)鍵子系統(tǒng)構(gòu)成...

在線膜厚儀廣泛應(yīng)用于多個(gè)領(lǐng)域，如半導(dǎo)體制造、光學(xué)涂層、電池制造、涂料、塑料和金屬薄膜等。每個(gè)領(lǐng)域的薄膜種類和厚度要求不同，因此對(duì)膜厚儀的精度、穩(wěn)定性、適用范圍等要求也各不相同。不同種類的薄膜對(duì)膜厚儀的測(cè)量性能有著直接的影響。主要影響因素包括薄膜的材料特性、折射率、吸光度、表面平整度等。以下將從幾個(gè)常見(jiàn)的薄膜種類出發(fā)，探討在線膜厚儀的適用性和限制。1、金屬薄膜金屬薄膜通常具有較高的反射率，這使得在線膜厚儀能夠通過(guò)光學(xué)干涉法等方法有效地測(cè)量其膜厚。金屬薄膜如銅、鋁、金等材料通常應(yīng)...

光譜橢偏儀是一種高精度的光學(xué)測(cè)量?jī)x器，主要用于分析材料的光學(xué)性質(zhì)(如折射率、消光系數(shù))、薄膜厚度(從納米到微米級(jí))以及表面/界面的微觀結(jié)構(gòu)信息。其核心原理是利用光的偏振狀態(tài)在材料表面反射或透射后的變化，通過(guò)解析這種變化反推材料的物理特性，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光學(xué)薄膜、納米材料、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域。該設(shè)備在操作時(shí)可以不接觸、無(wú)損測(cè)量，不破壞樣品；厚度測(cè)量可達(dá)亞納米級(jí)；無(wú)需標(biāo)記或預(yù)處理，適用于多種材料。選購(gòu)光譜橢偏儀時(shí)可以關(guān)注以下幾點(diǎn)：1、光譜范圍：根據(jù)測(cè)量材料的光學(xué)特性選擇合適的光譜...